一、試樣材料的特征和加工方法的影響
　　（1）試樣本身的影響
　　試樣材料有明顯的織構(gòu)特征時(shí)，壓痕形狀將不規(guī)則；壓痕在一個(gè)晶粒上不同的位置，如在晶內(nèi)或鄰近晶界或鄰近第二相，對(duì)所測(cè)得的結(jié)果都會(huì)有影響；如果被測(cè)晶粒極薄，壓痕會(huì)陷入底下的晶粒之中；經(jīng)變形的試樣應(yīng)注意縱橫斷面；即使是單相合金，對(duì)于一個(gè)晶粒與另一個(gè)晶粒的位向有所不同，也會(huì)反映出差異。綜上所述，應(yīng)注意到壓痕的位置最少應(yīng)距離晶界一個(gè)壓痕對(duì)角線的長度。被測(cè)晶粒的厚度至少10倍于壓痕的深度。在維氏顯微硬度計(jì)選擇測(cè)定位置時(shí)，宜選擇較大的晶粒和相對(duì)粗大的相，因?yàn)樾〉木Я；蛳嗪芸赡苁菢O薄的一片。
　　在維氏顯微硬度計(jì)試樣表面特征方面，如試樣表面光潔度、表面有無疏松、工作面與支撐面的不平衡度均與所測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性有影響。
　　（2）試樣加工方法的影響
　　機(jī)械拋光對(duì)顯微硬度值有明顯影響，這是因?yàn)閽伖鈺r(shí)表層會(huì)產(chǎn)生很小的塑性變形，有表層還會(huì)產(chǎn)生一層很薄的非晶層，所以機(jī)械拋光所測(cè)得的顯微硬度值比電解拋光所測(cè)得的結(jié)果要。這在低負(fù)荷時(shí)（小于10克）更為明顯。不良的機(jī)械拋光，能使鋼材的顯微硬度值增25~28%，鋁合金增10~12%，銅合金增45~55%.因此，用機(jī)械拋光制備試樣時(shí)，應(yīng)注意用較小的研磨壓力，盡量縮短拋光時(shí)間。有條件時(shí)，最好選用電解拋光方法。
　　二、試驗(yàn)條件和操作方法的影響
　　工作室的環(huán)境條件，如室內(nèi)和附近是否有產(chǎn)生振動(dòng)的其它設(shè)備等。在維氏顯微硬度計(jì)操作方法上如加負(fù)荷的速度、加負(fù)荷后保持的時(shí)間長短以及測(cè)試人員視力、工作熟練程度和質(zhì)量等主觀因素均會(huì)造成影響。
　　除以上所述的三個(gè)主要方面的影響因素外，應(yīng)特別提出，在顯微硬度試驗(yàn)中，即使負(fù)荷本身不存在超差的情況，對(duì)于同一均勻試樣，其它試驗(yàn)條件均處于理想條件下，當(dāng)改變負(fù)荷時(shí)，也會(huì)出現(xiàn)所得硬度值不相同的情況。這是由于壓頭以一定的負(fù)荷壓入試樣表面，試樣表面上形成壓痕，當(dāng)負(fù)荷去除后，壓痕將因金屬的彈性回復(fù)而稍微縮小。彈性回復(fù)是金屬的一種性能，它只與金屬的種類有關(guān)，而與產(chǎn)生壓痕的負(fù)荷無關(guān)。就是說，不管負(fù)荷變化如何，壓痕的大小怎樣，彈性回復(fù)幾乎都是一個(gè)定值。因此，當(dāng)負(fù)荷較小時(shí)，壓痕因彈性回復(fù)而收縮的比例就比較大，所以根據(jù)回復(fù)后壓痕尺寸計(jì)算求得的顯微硬度值總是比較。此點(diǎn)正是研討顯微硬度計(jì)試驗(yàn)法是否存在“幾何相似定律”問題中的一個(gè)重要因素。
　　三、儀器誤差的影響
　　儀器誤差主要反映在負(fù)荷、壓頭與顯微鏡的精度：
　　（1）負(fù)荷的影響：主要因素為砝碼重量超差，表現(xiàn)為銹蝕、損傷、表面鍍層脫落等；負(fù)荷彈簧性能變化等；負(fù)荷作用力方向與試樣不垂直，這時(shí)會(huì)產(chǎn)生一個(gè)水平分力，使負(fù)荷減小；加荷機(jī)構(gòu)上未被平衡的摩擦阻力，常常是由于機(jī)體安裝水平未調(diào)整好，或者由于主軸導(dǎo)向機(jī)構(gòu)不對(duì)中心所引起。
　　一般來講，維氏顯微硬度計(jì)負(fù)荷值的誤差與硬度值誤差成正比，但方向相反。即當(dāng)符合誤差為±1%時(shí)，硬度值產(chǎn)生的誤差為±1%。硬度誤差還隨負(fù)荷的降低而增，所以在試驗(yàn)條件允許的情況下，應(yīng)盡可能選用較大的負(fù)荷進(jìn)行試驗(yàn)。
　　（2）壓頭的影響：壓頭的幾何形狀和其面角與橫刃的公差應(yīng)受技術(shù)條件規(guī)定的約束，否則均會(huì)對(duì)硬度值造成影響，但這決定與壓頭生產(chǎn)的廠家。壓頭的四個(gè)三角形工作面應(yīng)光滑、平整和有良好的光潔度，有條件的單位應(yīng)對(duì)新的壓頭進(jìn)行檢驗(yàn)。在使用過程中壓頭受到損傷，如頂角磨損、壓頭工作面上附著有油污或壓頭上粘滯著某些金屬，會(huì)使壓痕邊緣粗糙和不規(guī)則，這些均會(huì)增大測(cè)量誤差，影響示值精度。
　　（3）顯微鏡的精度：測(cè)微目鏡的測(cè)量精度不夠，會(huì)造成壓痕對(duì)角線的測(cè)量誤差，對(duì)顯微硬度值的影響的計(jì)算公式與維氏相同，壓痕對(duì)角線的誤差會(huì)使硬度值的誤差成倍增長，即硬度誤差是壓痕對(duì)角線誤差的兩倍。此外，維氏顯微硬度計(jì)物鏡放大倍數(shù)的準(zhǔn)確性也直接影響到硬度值的計(jì)算結(jié)果。因此，儀器應(yīng)該定期進(jìn)行校正，即檢查和校正在倍和低倍物鏡下，測(cè)微目鏡上每一小格的實(shí)際格值。

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